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機(jī)械手臂是構(gòu)造形式設(shè)備之一,對于工業(yè)的應(yīng)用來說,有時并不需要機(jī)械手臂具有完整的六個自由度,而只需其中的一個或幾個自由度。直角坐標(biāo)系機(jī)械手臂可以由單軸機(jī)械手臂組合而成。
單軸機(jī)械手臂作為一個組件在工業(yè)中應(yīng)用廣泛,單軸機(jī)械手臂的組件化大大降低了工業(yè)設(shè)計的成本,因?qū)I(yè)制造商擁有良好的質(zhì)量保證和批量生產(chǎn)的優(yōu)勢,使用組件比自行設(shè)計機(jī)械手臂更具優(yōu)勢。常見的直交機(jī)械手組合有懸臂式,龍門式,直立式,橫立式等樣式。
對于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來說,常用的機(jī)械手臂是用來搬送晶片,手臂一般有3個運(yùn)動:伸縮、旋轉(zhuǎn)和升降。實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)、升降運(yùn)動是由橫臂和產(chǎn)柱去完成,手臂的基本作用是將手爪移動到所需位置和承受爪抓取工件的大重量,以及手臂本身的重量等。
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